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合肥通富微電子有限公司存儲器芯片封裝測試生產(chǎn)線建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收意見

2023年6月12日，合肥通富微電子有限公司組織召開了存儲器芯片封裝測試生產(chǎn)線建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收會。與會代表查看了項目現(xiàn)場及周邊環(huán)境，并根據(jù)合肥通富微電子有限公司存儲器芯片封裝測試生產(chǎn)線建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告及《建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收暫行辦法》(國環(huán)規(guī)環(huán)評【2017】4號)，嚴格依照國家有關(guān)法律法規(guī)、建設(shè)項目竣工環(huán)境保護驗收技術(shù)規(guī)范、本項目環(huán)境影響報告書和審批部門審批決定等要求對本項目進行階段性驗收，提出意見如下：

一、工程建設(shè)基本情況

（一）建設(shè)地點、規(guī)模、主要建設(shè)內(nèi)容

合肥通富微電子有限公司建設(shè)地址位于合肥經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)衛(wèi)星路以北、桃枝路以東，為新建項目。環(huán)評中主要從事動態(tài)存儲器產(chǎn)品封裝測試,可年產(chǎn)動態(tài)存儲器產(chǎn)品封測 WBGA10800 萬顆、動態(tài)存儲器產(chǎn)品封LPDDR3600 萬顆；本次新增生產(chǎn)線可年產(chǎn)存儲器封裝測試產(chǎn)品1.44億顆，實際總投資95500萬元。

（二）建設(shè)過程及環(huán)保審批情況

公司于2021年委托安徽環(huán)境科技研究院股份有限公司編制了《合肥通富微電子有限公司存儲器芯片封裝測試生產(chǎn)線建設(shè)項目環(huán)境影響報告表》，并于同年11月9日經(jīng)合肥市生態(tài)環(huán)境局“環(huán)建審【2021】11114號文”審批。項目從環(huán)評審批至試運行過程中無環(huán)境投訴，違法或處罰記錄等。

（三）投資情況

項目本次階段性驗收實際總投資為95500萬元，其中實際環(huán)保投資為300萬元，占總投資額的0.31%。

（四）驗收范圍

本次驗收針對合肥通富微電子有限公司存儲器芯片封裝測試生產(chǎn)線建設(shè)項目1#廠房二層新增的存儲器芯片封裝測試生產(chǎn)線及其配套工程、環(huán)保工程；以及現(xiàn)有一期項目已建揮發(fā)性有機物治理設(shè)施升級改造、新增污泥烘干區(qū)及配套環(huán)保設(shè)施進行竣工環(huán)境保護“三同時”驗收。

二、工程變動情況

本項目實際建設(shè)情況與環(huán)評及批復對比，發(fā)生如下變動：

環(huán)評新增一套一般清洗廢水處理系統(tǒng)，實際未新增。

三、環(huán)境保護設(shè)施建設(shè)情況

（一）廢水

本次擴建項目廢水主要為一般清洗廢水、職工辦公生活污水、食堂廢水、純水制備產(chǎn)生的濃水。一般清洗廢水水經(jīng)預處理裝置處理后通過中水回用系統(tǒng)再次制取純水，回用于生產(chǎn)，中水回用系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水排放至廠區(qū)污水處理總站處理后與經(jīng)化糞池處理的生活污水、經(jīng)隔油池處理的食堂廢水一起排入經(jīng)開區(qū)污水處理廠，處理達標后排入派河。

（二）廢氣

本次擴建項目產(chǎn)生的廢氣主要為基板刷膠、基板烘烤、裝片固化、塑封、后固化、植球工段、維修間進行熱壓板清洗產(chǎn)生的揮發(fā)性有機廢氣（非甲烷總烴）以及植球產(chǎn)生的錫及其化合物，輔助工序新增污泥烘干產(chǎn)生的廢氣、化學品庫和危廢暫存區(qū)揮發(fā)出的有機廢氣（非甲烷總烴），以及現(xiàn)有工程固化工序廢氣治理設(shè)施改造。

非甲烷總烴區(qū)域為密閉區(qū)域，內(nèi)部自帶廢氣收集裝置收集后由引風機（風機風量28000m³/h）引至二級活性炭吸附處理裝置處理后經(jīng)1根25米高的排氣筒（DA004）排放。

  污泥烘干區(qū)產(chǎn)生的廢氣主要為氨，污泥烘干區(qū)密閉，烘干廢氣經(jīng)收集后通過一套生物除臭裝置（處理效率 90%）處理后經(jīng)一根25m 高排氣筒（DA005）排放。

廠區(qū)化學品庫和液體危廢存儲區(qū)涉及揮發(fā)性有機廢氣區(qū)域分別進行集氣罩局部收集后匯入同一套二級活性炭吸附裝置處理后經(jīng)一根高 25m 排氣筒（DA006）排放。

廠區(qū)固體危廢存儲區(qū)廢活性炭暫存區(qū)域進行集氣罩局部收集后匯入同一套二級活性炭吸附裝置處理后經(jīng)一根高 25m 排氣筒（DA007）排放。

現(xiàn)有一期傳統(tǒng)封裝涂膠塑封固化工段廢氣通過處理設(shè)備升級經(jīng)一套“二級活性炭吸附裝置”（處理效率為 95%）處理后經(jīng)現(xiàn)有一根 1 根 25 米高排氣筒（DA002）排放。

（三）噪聲

本項目噪聲主要是風機、空壓機、水泵、冷凍機組、冷卻塔等設(shè)備運行時產(chǎn)生的噪聲，其聲級值為75～90dB(A)。通過選用低噪設(shè)備，設(shè)置減振基座，設(shè)置單獨設(shè)備房，廠房隔聲等措施降噪。

四、環(huán)境保護設(shè)施調(diào)試效果

（一）污染物達標排放情況

1、廢水

根據(jù)安徽品格檢測技術(shù)有限公司（報告編號：PG23051510）監(jiān)測報告顯示，驗收監(jiān)測期間，項目污水總排口處廢水pH值范圍分別為6.6-7.4；氨氮日均濃度分別為10.9mg/L、10.03mg/L；COD日均濃度分別為63mg/L、62mg/L；BOD5日均濃度分別為22.5mg/L、21.3mg/L；SS日均濃度分別為29mg/L、26mg/L；動植物油日均濃度低于檢出限，廢水中常規(guī)污染物排放滿足GB8978-1996《污水綜合排放標準》中三級標準和經(jīng)開區(qū)污水處理廠接管標準，特征污染物滿足GB21900-2008《電鍍污染物排放標準》中表2標準和經(jīng)開區(qū)污水處理廠接管標準，單位產(chǎn)品排水量為0.33m3/千塊產(chǎn)品，滿足《電子工業(yè)污染物排放標準》表3“單位電子產(chǎn)品基準排水量”中半導體器件封裝測試單位產(chǎn)品基準排水量2.0m3/千塊產(chǎn)品的標準要求。

根據(jù)廠區(qū)污水處理總站的進口、出口監(jiān)測數(shù)據(jù)，核算污水處理裝置對氨氮、COD、BOD5、SS、動植物油的處理效率可得：①污水處理總站對氨氮的處理效率約35%-65%；②污水處理總站對COD的處理效率約為9%-54%；③污水處理總站對BOD5的處理效率為33%-73%；④污水處理總站對SS的處理效率為34%-65%。

2、廢氣

根據(jù)安徽品格檢測技術(shù)有限公司（報告編號：PG23051510）監(jiān)測報告顯示，驗收監(jiān)測期間：DA002排氣筒非甲烷總烴最大排放濃度、最大排放速率分別為2.46mg/m3、4.84×10-2kg/h，滿足天津市《 工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機物排放控制標準》（ DB12 / 524-2020）；DA004排氣筒非甲烷總烴最大排放濃度、最大排放速率分別為2.79mg/m3、5.88×10-2kg/h、錫及其化合物最大排放濃度、最大排放速率分別為1.14×10-3mg/m3、2.36×10-5kg/h均滿足上海市《大氣污染物綜合排放標準》（DB31/933-2015）表1中大氣污染物項目排放限值；DA005排氣筒氨最大排放濃度、最大排放速率分別為8.85mg/m3、3.67×10-2kg/h，硫化氫最大排放濃度、最大排放速率分別為0.10mg/m3、4.15×10-4kg/h，均滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）中標準要求，氯化氫最大排放濃度、最大排放速率分別為0.10mg/m3、4.15×10-4kg/h；硫化氫最大排放濃度、最大排放速率分別為1.27mg/m3、4.95×10-3kg/h，滿足《 大氣污染物綜合排放標準》（ DB 31 / 933 - 2015 ）；DA006排氣筒非甲烷總烴最大排放濃度、最大排放速率分別為3.49mg/m3、3.8×10-2kg/h，DA007排氣筒非甲烷總烴最大排放濃度、最大排放速率分別為2.83mg/m3、3.13×10-2kg/h均滿足上海市《大氣污染物綜合排放標準》（DB31/933-2015）表1中大氣污染物項目排放限值。

①項目基板刷膠、烘烤、固化、塑封、植球等廢氣和熱壓板清洗廢氣處理設(shè)施進口處、固體危廢存儲區(qū)廢氣處理設(shè)施進口處均為彎管，不具備監(jiān)測條件，故未監(jiān)測其進口數(shù)據(jù)，未核算非甲烷總烴處理效率。②根據(jù)污泥烘干區(qū)生物除臭進出口數(shù)據(jù)核算，平均氨處理效率為20%，硫化氫處理效率為41%，氯化氫處理效率為55%。③根據(jù)化學品庫和液體危廢暫存區(qū)廢氣處理設(shè)施二級活性炭進出口數(shù)據(jù)核算，非甲烷總烴處理效率46%。

廠界非甲烷總烴最大濃度為1.33mg/m3，滿足《 大氣污染物綜合排放標準》（ DB 31 / 933 - 2015 ）（非甲烷總烴≤4.0mg/m3）和《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》（GB37822-2019）表A.1中標準；氨最大濃度為0.08mg/m3,硫化氫未檢出，均滿足《惡臭污染物排放標準》（GB14554-93）廠界標準值（氨≤1.5mg/m3、硫化氫≤0.06mg/m3）;氯化氫最大濃度為0.109mg/m3滿足《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）中表 2中相關(guān)限值；錫及其化合物最大濃度為6.23×10-4mg/m3滿足《 大氣污染物綜合排放標準》（ DB 31 / 933 - 2015）（錫及其化合物≤0.06mg/m3）。

3、噪聲

根據(jù)安徽品格檢測技術(shù)有限公司（報告編號：PG23051510）監(jiān)測報告顯示，驗收監(jiān)測期間，項目區(qū)東、南、西、北側(cè)廠界噪聲晝間最大值為64dB（A）、夜間最大值為54dB（A），滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中3類標準要求。

4、固體廢物

生活垃圾：職工辦公生活垃圾、廚余垃圾年產(chǎn)生量約為35.64t，生活垃圾分類袋裝化，交由環(huán)衛(wèi)部門處理；

一般固體廢物：自動貼膜、磨片&貼膜以及 WBGA 的裝片工序產(chǎn)生的廢膜，廢膜的總產(chǎn)生量為0.03t/a，交由再生資源公司統(tǒng)一回收處理；

廢卷軸和塑料包裝袋產(chǎn)生量為 15t/a，交由再生資源公司統(tǒng)一回收處理；

不合格品，產(chǎn)生量為 0.03t/a；返回供應廠商；

廢塑封料產(chǎn)生量為 0.16t/a；交由再生資源公司統(tǒng)一回收處理；

廢棄焊球：產(chǎn)生量為 0.11t/a；返回供應廠商；

不合格品產(chǎn)生量為 0.03t/a；返回供應廠商；

純水制備廢 RO 膜：產(chǎn)生量為 0.2t/a；返回供應廠商；

中水回用系統(tǒng)廢管式膜：產(chǎn)生量為1.88t/5a；返回供應廠商；

廢包裝袋：產(chǎn)生量為 0.1t/a；

危險廢物：廢活性炭產(chǎn)生量為340.67t/a；廢膠瓶0.5t/a；廢助焊劑瓶產(chǎn)生量約為 0.5t/a。廢酒精年產(chǎn)生量為 7.2t/a；污泥量為107t/a。集中收集后暫存于危廢庫中，定期交由。廠區(qū)共設(shè)置2處危廢庫，危廢庫1位于固廢站南側(cè)，建筑面積約300m2，主要用于儲存廢活性炭等，危廢庫地面已設(shè)置防腐防滲，已設(shè)置圍堰，危廢庫已分區(qū)存放，并在危廢庫內(nèi)北側(cè)設(shè)置導流溝、收集槽（1.44m2）；危廢庫2位于化學品庫東側(cè)，建筑面積約75m2，主要用于儲存沾染物，危廢庫地面已設(shè)置防腐防滲，2個危廢庫均可以有效防止二次污染，并在門口設(shè)置危廢庫外部標識，規(guī)范建立了危廢臺賬、對危廢張貼進出標簽。

通過采取以上措施，本項目驗收產(chǎn)生的固體廢物均得到回收利用或有效處理，不會對項目區(qū)外環(huán)境產(chǎn)生影響。

五、驗收結(jié)論

項目執(zhí)行了環(huán)境影響評價制度，環(huán)境保護審查、審批手續(xù)完備，按照環(huán)評及批復的要求落實了污染防治措施，污染物達標排放，總體符合驗收條件，驗收工作組原則同意合肥通富微電子有限公司集成電路先進封裝測試產(chǎn)業(yè)基地（一期）項目通過階段性竣工環(huán)境保護驗收。

六、后續(xù)要求

1.完善項目環(huán)評批復要求與實際落實情況對照表，重點說明變化情況。

2.確保污染治理設(shè)施長效穩(wěn)定運行。

3.加強危廢的日常管理。

七、驗收人員信息

見附表
          驗收報告
          驗收意見